什么是汞燈標(biāo)準(zhǔn)光譜？汞燈光譜波長(zhǎng)范圍是多少？下文就為大家簡(jiǎn)單那的介紹一下汞燈的光譜線波長(zhǎng)情況，對(duì)汞燈光譜感興趣的小伙伴，趕快來(lái)看看吧！
汞燈標(biāo)準(zhǔn)光譜是什么？
利用汞放電時(shí)產(chǎn)生汞蒸氣獲得可見(jiàn)光的電光源。汞燈可分為低壓汞燈、高壓汞燈和超高壓汞燈三種。
汞燈標(biāo)準(zhǔn)光譜橫坐標(biāo)是波長(zhǎng)，縱坐標(biāo)是光幅（強(qiáng)度）。
關(guān)于X光，汞燈光譜中包含有X光，但強(qiáng)度已經(jīng)很小了，達(dá)不到應(yīng)用水平。其實(shí)可以看到，KrF,ArF的強(qiáng)度也不大，所以在早期i線的光刻機(jī)上用的是汞燈，而DUV的光刻機(jī)用的是準(zhǔn)分子激光。實(shí)驗(yàn)室中的汞燈一般為線光譜。
汞燈光譜波長(zhǎng)范圍：
藍(lán)光為：
△491.60 強(qiáng)?
△496.03 中
汞燈主要光譜線波長(zhǎng)表
顏色 波長(zhǎng)/nm 強(qiáng)度?
紫色 △404.66 強(qiáng)?
△407.78 中?
410.81 弱?
433.92 弱?
434.75 中?
△435.84 強(qiáng)?
藍(lán)綠色 △491.60 強(qiáng)?
△496.03 中?
綠色 535.41 弱?
536.51 弱?
△546.07 強(qiáng)?
567.59 弱?
黃色 △576.96 強(qiáng)?
△579.07 強(qiáng)?
585.92 弱?
589.02 弱?
橙色 △607.26 弱?
△612.33 弱?
紅色 △623.44 中?
深紅色 △671.62 中?
△690.72 中?
708.19 弱
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